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平川米拉普罗冷阴极真空计 CCTG西北25
米拉普罗冷阴极真空计 CCTG西北25冷阴极Tough Gauge CCTG（冷阴极Tough Gauge）通过加热阴极电极，防止电极污染，并实现超高真空区域的稳定放电，这在过去是不可能的。此外，通过采用陶瓷作为阴极材料，它具有过去不可能的耐腐蚀性。可以测量迄今为止无法测量的卤素气体气氛的压力。真空沉积设备、蚀刻设备、溅射设备、电子显微镜、离子注入设备、LPCVD设备、质谱设备、加速器、有机EL材料纯化接口RS232C、显示器(TGD100)、可连接到PC输入信号测量开始/停止、脱气、 Tough 模式 ON/OFF 输出信号 设定点触点 x 2ch，报警触点 输入电源 (V) DC24，1A 测量范围 1 x 10-8Pa 至 0.1Pa 电压 (V) 3k 至 500（偏置/佳控制） 规格 [ 压力单位] Pa/Torr/mbar，[Tough 模式] 测量过程中阴极电极电加热（温度可分 3 步设置），[脱气] 阴极快速加热至 700°C 左右，[压力信号输出] 0至 10 V × 2ch 型发射器型（带 LED 显示） 容量：1 台
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